在半導體制造行業(yè)，大功率紫外線(xiàn)燈用于晶圓表面微粒檢測。晶圓的切割、清洗會(huì )對晶圓表面造成污染，而用大功率紫外線(xiàn)燈輻射能夠發(fā)現污染點(diǎn)，這對于提高晶圓良品率至關(guān)重要。

作為多年來(lái)從事紫外線(xiàn)燈研發(fā)、設計、制造的深圳紫外線(xiàn)燈品牌TANK007就跟大家伙來(lái)聊聊被稱(chēng)為集合幾乎人類(lèi)所有理工學(xué)科的智慧的半導體行業(yè)為何需要使用大功率紫外線(xiàn)燈。

目前應用于半導體行業(yè)的大功率紫外燈分為便攜式紫外線(xiàn)燈和固定式紫外線(xiàn)燈。

其中，便攜式大功率紫外線(xiàn)燈如大功率紫外線(xiàn)手電筒可用于便攜式操作，常見(jiàn)的如檢查設備表面塵埃。

而固定式大功率紫外線(xiàn)燈可檢查晶圓表面質(zhì)量和微粒檢查。例如臺積電、中芯國際和上海微電子等半導體企業(yè)都有涉及到大功率紫外線(xiàn)燈。

大功率紫外線(xiàn)燈用于檢查半導體潔凈室

1、半導體潔凈室內部為了保持干凈，通常潔凈室內氣壓高于標準大氣壓才能確保粉塵只出不進(jìn)。

另外通過(guò)安裝大型鼓風(fēng)機，把過(guò)濾的清潔空氣輸入到潔凈室中，為了保證溫濕度空調系統也是必須的安裝的。至于日常檢查是否有塵埃落入可借助大功率紫外線(xiàn)燈來(lái)檢查。

3、為了最大程度減少塵埃在潔凈室滯留，潔凈室所有氣流方向均由上往下為主。

4、進(jìn)入潔凈室內的物料盡量選用不易產(chǎn)生靜電的材料，以減少對灰塵的吸附。

5、進(jìn)出潔凈室內的工作人員，嚴格按照空氣吹浴 (air shower) 程序，除去自身表面粉塵。

6、為確保人體及衣物的毛屑，進(jìn)出潔凈室/無(wú)塵室的工作人員需穿戴無(wú)塵衣，杜絕與外界隔絕接觸 

總之，晶圓的制造環(huán)境潔凈度將直接影響著(zhù)晶圓的良品率，晶圓制造企業(yè)必須要有配套無(wú)塵生產(chǎn)環(huán)境才能確保晶圓的質(zhì)量。

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